Program overview
晶圓劃片:
是經過一系列半導體制造工藝形成極微小的電路結構,
再經切割、封裝、測試成為芯片,廣泛應用到各類電子設備當中。 也半導體芯片制造工藝流程中的一道必不可少的工序,
將做好芯片的整片晶圓按芯片大小分割成單一的芯片(晶粒),稱之為晶圓劃片。
在晶圓劃片行業,一個是傳統劃片 具有以下特點:
● 刀片劃片直接作用于晶圓表面,在晶體內部產生損傷,容易產生晶圓 崩邊 及晶片 破損;
● 刀片具有所的厚度,導致刀具的劃片 線寬較大;
●耗材大 ,刀片需每半個月更換一次;
● 環境 污染大,切割后的硅粉水難處理。
而
激光劃片
屬于非接觸式加工,可以避免以上情況的發生。
typical application
Customer revenue
●激光切割/劃片 采用的高光束質量的光纖激光器對芯片的電性影響小,可提高的劃片成品率;
● 可以對不同厚度的晶圓進行作業,具有更好的兼容性和通用性;
● 可以切割一些較復雜的晶圓芯片,如六邊形管芯等;
●不需要去離子水,不存在刀具磨損問題,并可連續24小時作業。
劃片設備 | 傳統劃片方式(砂輪) | 激光劃片方式(激光) |
切割速度 | 5-8mm/s | 1-150mm/s |
切割線寬 | 30~40微米 | 30~45微米 |
切割效果 | 易崩邊,破碎 | 光滑平整,不易破碎 |
熱影響區 | 較大 | 較小 |
殘留應力 | 較大 | 極小 |
對晶圓厚度要求 | 100 um以上 | 基本無厚度要求 |
適應性 | 不同類型晶圓片需更換刀具 | 可適應不同類型晶圓片 |
有無損耗 | 需去離子水,更換刀具,損耗大 | 損耗很小 |
Applications